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由于類金剛石膜層具有許多與金剛石相似或相近的優(yōu)良性能,如硬度高、彈性模量高、摩擦因數(shù)低、生物相溶性好、聲學性能好、電學性能佳等。因此在工業(yè)各領域都有極大的應用前景,如作為工模具的耐磨及低摩擦涂層、揚聲器振膜涂層、生物涂層、光學保護涂層、場發(fā)射器涂層、裝飾涂層等。類金剛石涂層就可以通過PVD離子源技術 來實現(xiàn)。
目前類金剛石膜層的研究、開發(fā)、制備及應用正向深度和廣度推進。制備的方法很多:如離子束輔助沉積、磁控濺射、真空陰極電弧沉積、等離子體增強化學氣相沉積、離子注入法等。但不同的制備方法,DLC膜的成分、結構和性能有很大的差別。要實現(xiàn)大批量、大面積、質優(yōu)的DLC膜的應用,還存在不少問題,如制備成本高、單爐次批量不大、制備厚涂層難等。
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