濺射鍍膜 是指利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集，而形成高速度的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基板材料表面的技術(shù)。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜材料的原材料，稱(chēng)為濺射靶材。

一般來(lái)說(shuō)，濺射靶材主要由靶坯、背板（或背管）等部分構(gòu)成，其中，靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料，屬于濺射靶材的核心部分，在濺射鍍膜過(guò)程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來(lái)并沉積于基板上制成薄膜材料；由于濺射靶材需要安裝在專(zhuān)用的設(shè)備內(nèi)完成濺射過(guò)程，設(shè)備內(nèi)部為高電壓、高真空的工作環(huán)境，多數(shù)靶坯的材質(zhì)較軟或者高脆性，不適合直接安裝在設(shè)備內(nèi)使用，因此，需與背板（或背管）綁定， 背板（或背管）主要起到固定濺射靶材的作用，且具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。

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